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半导体真空泵应用时，博山真空泵价格，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能---复杂，如sih4与o2在泵口形成sio2，ticl4水解会形成hcl；假设是油封式机械泵，博山真空泵工厂，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的危险性也。所以需要及时的清洗，并在---的时候设置过滤设备。

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半导体易产生前面所说的、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如sih4、ph3、ash3、b2h6等物质，在与空气或氧接触的时候，会引起燃烧甚至；氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。

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