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空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及风险。所以一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高；假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油，并及时更换油滤和油品。

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真空条件下容器漏率的测定，用接人真空容器的真空规、离子泵及残气分析质谱计来测定容器的漏率，可以选用流盆测量、压力测量、卤素检漏仪以及氮质谱检漏仪等方法来测全漏率。

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