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半导体易产生前面所说的、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如sih4、ph3、ash3、b2h6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。
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---的热氧化---性:不断向高速度发展,由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高,油品很容易氧化分解,尤其扩散泵往往处于---的温度环境下工作,博山真空泵厂家,使系统内蒸气压升高,真空度降低,因此要求润滑油具有---的热氧化---性。
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真空泵在试车前要仔细检查联轴器,若有---重新调整;真空泵为皮带传动时,运行5小时后要检查皮带张力,若有---重新调整。工作液供水压力不宜太大,应高出排气压力0.1~0.2kg为宜。压力过高会导致叶轮损坏和电机过载。工作液要尽量使用软化水,若工作液硬度过高,必须定期对泵进行除垢,博山真空泵厂,否则会导致泵损坏。真空泵启动前要先打开供水管路以湿润轴封;点动电机,确定电机转向正确后再启动真空泵。真空泵在使用时要注意所抽气体和使用的工作液是否与泵材质相符,工作液不要含有固体颗粒。在霜冻季节或寒冷地区使用时,停车后应将泵放空。
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